磁控溅射法制备Si1−xGex/B多层薄膜及其热电性能研究

杜 鑫，苗 蕾，刘呈燕，王潇漾

新能源进展 ›› 2016, Vol. 4 ›› Issue (5) : 345-350.

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新能源进展 ›› 2016, Vol. 4 ›› Issue (5) : 345-350. DOI: 10.3969/j.issn.2095-560X.2016.05.002
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磁控溅射法制备Si1−xGex/B多层薄膜及其热电性能研究

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Thermoelectric Property of Si1−xGex/B Multilayer Thin Film Prepared by Magnetron Sputtering

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